热式气体质量流量控制器 型号;HA-S48 32/HMT 编号 | 项目 | S48 32/HMT | 1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min | 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 | 4 | 安装方向 | 任意 | 5 | 流量控制范围 | 2%- | 6 | 流量测量范围 | (0-100)% | 7 | 零点温漂 | 0.6%F.S.(15~35℃) | 8 | 响应时间 | 2s(T98,设定值的±2%F.S.) | 9 | 工作环境温度 | 5~50℃ | 10 | 精度保证温度 | 15~35℃ | 11 | 精度 | ±1.0%F.S | 12 | 线性 | ±0.5%F.S | 13 | 重复精度 | ±0.2%F.S | 14 | 工作压差范围 | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa | 15 | 耐压 | 3MPa | 16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) | 17 | 管路接头 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm | 18 | 供电电源 | ±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA | 19 | 设定信号 | (0-5)VDC 输入阻抗>1MΩ | 20 | 流量输出信号 | (0-5)VDC 负载输出电流能力≤3mA | 21 | 电气接头 | D-SUB15 | 22 | 尺寸 (mm) | 113(宽)×121(高)×32(厚) |
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