特点   

紧凑的结构   

轻巧的重量  

实惠的价格  

可以做光电方面测试应用 

LED/LD/PD的光强/波长测试

可以进行射频测试，加装东/西方向针座   

适合大学实验室通用 

适合4"以下晶圆测试   

Chuck通过x-y方向丝杠驱动   

无后座力移动 

规格   

真空吸附型CHUCK     

4英寸不锈钢材质 

Chuck 行程           

X-Y方向行程4" x4"

Chuck 移动精度  

10微米  

Chuck 可旋转角度    

0~360 °

平台             

可放置6 个针座  

需求   

电力 

220 VAC, 60Hz   

真空  

-250 mmHg, 7 liter/min   

尺寸   

400mm长 x 400mm宽 x 400mm高(带显微镜)   

重 30 Kg  (带显微镜)

可选附件   

Chuck快速拉出装置  

积分球夹具

显微镜倾仰装置和快速移动装置   

光强/波长测试接口部件  

射频测试探头和线缆    

有源探头  

低电流/电容测试   

高压测试   

视频CCD系统   

封装器件夹具    

PCB板夹具

加热系统   

防震台

箱   

镀金Chuck