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椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪
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产品型号:
HAD-SGC-1A
产品名称:
椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪
产品报价:
产品特点:
椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪
1
测量范围
1nm-300nm
2
测量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°~90°误差≤0.1°
4
偏振器方位角读数范围
0°~180°
  HAD-SGC-1A椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 的详细资料:

椭圆偏振测厚仪    椭圆测厚仪 型号:HAD-SGC-1A

指标:

 

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量zui小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标zui小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg

 

 

 

 

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