红宝石探针头系列 红宝石探测器 红宝石探针头 红宝石探测仪（*）   型号：KDK-KDT

一、特点
1、 使用几何尺寸十分精确的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。
2、 控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，保证探针的小游移率。
3、 采用特制的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有独立、准确的压力。
4、 量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。
二、用途
1、 测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。
2、 测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。
三、探针间距
1、 直线四探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探针…………… 1.00mm
3、 直线三探针…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 两探针    …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
四、指标
1、 游移率   

                   B级…………… ＜0.5%
                   *……………＜0.3%

                   A*………… ＜0.2%
                   AA*…………＜0.1%
2、 间距偏差  

                   B级…………… ＜3%
                   *…………… ＜2%
                   A*…………  ＜2%
                   AA*………… ＜1%
3、 zui大针与导孔间隙：0.006mm
4、 探针材料：硬质合金（主成份：进口碳化钨）或高速钢
5、 探针压力      标准压力：6—10N（4根针总压力）
                        小压力：1.2—5N（4根针总压力）     
                        1牛顿（N）=101.97克
6、 针尖压痕直径：25—100μｍ、100—250μｍ（簿层）
7、 500V绝缘电阻：＞1000MΩ

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