自动椭圆偏振测厚仪//自动椭圆偏振测厚仪/椭圆偏振测厚仪/测厚仪 型号：TP-TPY-2 产品特点： 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。 仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。 规格与主要指标： 测量范围：薄膜厚度范围1nm-4000nm 折射率范围：1-10 测量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05° 度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 偏振器步进角：0.014°/步 偏振器方位角范围：0°- 180° 测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005 仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时） 光学中心高度：80mm 成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机） 主机重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm 装箱单 | 序号 | 名 称 | 规格或型号 | 数量 | 备 注 | | 1 | 自动椭圆偏振测厚仪主机 | TP-TPY-2 | 1台 |
| | 2 | 主机电控箱 | TP-TPY-2 | 1台 |
| | 3 | Q9连接线 |
| 1根 |
| | 4 | 数据连接线 |
| 1根 |
| | 5 | 电源线 |
| 2根 |
| | 6 | 15线连接电缆 |
| 1根 |
| | 7 | USB连接电缆 |
| 1根 |
| | 8 | 二氧化硅膜样片 |
| 1张 |
| | ９ | 软件安装盘 | TP-TPY-2 | 1张 |
| | 10 | 使用说明书 | TP-TPY-2 | 1份 |
| | 11 | 装箱单 | TP-TPY-2 | 1份 |
| | 12 | 产品合格证 | TP-TPY-2 | 1份 | 北京恒奥德科技有限公司
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