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椭圆测厚仪 指标 |
| 点击次数：234 发布时间：2019/6/26 |
| 提 供 商： |
北京恒奥德科技有限公司 |
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椭圆偏振测厚仪 椭圆测厚仪 型号：HAD-SGC-1A 指标： 编号 | 名称 | 参数 | 1 | 测量范围 | 1nm-300nm | 2 | 测量小值 | ≤1nm | 3 | 入射角 | 30°～90°误差≤0.1° | 4 | 偏振器方位角读数范围 | 0°～180° | 5 | 度盘刻度 | 每格2度 | 6 | 游标小读数 | 0.05° | 7 | 光学中心高度 | 152mm | 8 | 工作台直径 | φ70mm | 9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm | 10 | 主机重量 | 20kg |
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